【關(guān)于管式爐特征的介紹】

【應用領(lǐng)域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用較為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

管式電爐由加熱爐本體和余熱回收系統(tǒng)組成，管式加熱爐爐體內(nèi)設置有煙囪檔板，加熱爐本體于煙囪檔板下方設置有高溫煙氣出口，余熱回收系統(tǒng)包括空氣預熱器，其特征在于：空氣預熱器由非冷凝式空氣預熱器和冷凝式空氣預熱器兩段組成。

管式電阻爐的結(jié)構(gòu)：管式電阻爐外形呈一橫置的圓柱體，它安置于由薄鋼板制成的底座上。爐殼用薄鋼板圈焊而成，工作室為碳化硅或氧化鋁耐火材料制成的管形爐膛，爐膛外表面制有螺旋形的單絲槽，鐵鉻鋁合金絲繞于絲槽內(nèi)。爐膛兩端用耐火材料制成的爐圈固定于爐蓋上。

爐膛與爐殼之間用硅酸鋁耐火纖維制品等材料砌筑為保溫層。管式電阻爐的應用范圍：管式電阻爐供實驗室、工礦企業(yè)、科研等單位作化學分析、物理測定及熱電偶檢定等加熱用。單管定碳爐以硅碳棒為加熱元件，用于分析、測定普通鋼或合金鋼中含碳及硫量時加熱用。

本系列管式電阻爐為周期作業(yè)式電爐，可供工礦企業(yè)、科研等單位、實驗室和車間作化學分析、物理測定和熱電偶鑒定等加熱之用。

管式電爐的使用方法：電爐操作工應具備國家相應電氣設備操作資格，并熟讀本電窯隨機儀表說明書等技術(shù)文件！用戶開關(guān)板給電爐送電，此時程序表得電，按溫度儀表說明書設定儀表（如P、I、D參數(shù)），按工藝要求編制加熱程序，打開加熱旋鈕，使加熱功率到達6KW。

加熱功率可按下式計算：加熱功率=儀表電壓×儀表電流正常加熱電流約為：22A，加熱電壓約為：220V。加熱停止：程序溫度結(jié)束后，執(zhí)行時間=0段程序，加熱結(jié)束。將停止按扭旋至關(guān)位。分斷用戶開關(guān)。

1.程序設定溫度不得高于電爐參數(shù)溫度。

2.電爐工作時，不得打開爐門。取產(chǎn)品時，應等到爐溫100℃以下。

3.升溫加熱時，加熱功率不得超過6KW，否則將損傷加熱元件。

管式電阻爐的安全使用：在關(guān)鍵部位安裝有聲、光警報裝置和安全聯(lián)鎖保護裝置，確保安全，其設備安全設施達到國家規(guī)定的安全標準，包括：

（1）超溫斷偶報警及保護；充氣異常；接地保護；短路保護等。

（2）爐蓋關(guān)緊、真空度滿足要求，方可啟動加熱。針對實驗室的使用要求，裝卸料采用間歇式手動裝、卸料。裝料時將料盒放置在料盆支架上，打開并取出爐管一端的密封端蓋，放入帶料盒的料盒支架，再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通人工藝氣氛，直到爐管內(nèi)氧含量達到工藝要求時進行升溫燒結(jié)。

產(chǎn)品燒結(jié)工藝完成后，應繼續(xù)通人小量的工藝氣氛并進行降溫，直到爐內(nèi)溫度低于工藝要求時，方可打開爐管密封端蓋取出產(chǎn)品。